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1、這要從ICP光譜儀形成的等離子體過程去分析，一般來說，點(diǎn)火時(shí)設(shè)備提供的功率最大，可以保證Ar的電離充分從而有助于形成等離子體火炬，但正常工作時(shí)，設(shè)備的功率一般都是最大功率的80%左右，而且為了保證輸出功率的穩(wěn)定性，都加了功率反饋，這樣在測試過程中，進(jìn)樣的溶液如果不均勻或有空氣進(jìn)入，可能會(huì)局部加電離，因?yàn)榈入x子體與高壓方面是通過線圈耦合的，這樣等離子體電流加大，將影響功率調(diào)節(jié)，功率調(diào)節(jié)將出現(xiàn)誤判，通過反饋，自動(dòng)降低輸出功率，因?yàn)槿芤褐皇且粫r(shí)現(xiàn)象，而功率的調(diào)節(jié)確是實(shí)時(shí)的，當(dāng)將功率調(diào)小以后，而溶液確恢復(fù)正常，此時(shí)因Ar氣電離成分不夠，不能維持等離子體，從而熄火，因此在熄火后須及時(shí)關(guān)高壓，否則容易出問題。
2. 光源電路工作不穩(wěn)定，電路的溫度參數(shù)問題，下次開機(jī)前先想辦法把光源部分預(yù)熱以下。
3. 簡單說就是由于等離子和高壓耦合，所以任何使等離子體不穩(wěn)定的因素（包括試樣不均勻等）就會(huì)熄火。